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      MetronLens 超構透鏡光學檢測系統

      復享超構透鏡光學檢測系統的相關參考文獻



      技術參數
      關鍵技術
      型號
      描述
      MetronLens光場檢測 + 遠場檢測
      MetronLens-Phi相位檢測 + 光場檢測 + 遠場檢測


      項目
      測量模式:透射光場分布檢測,透射遠場分布檢測
      可測量光學參數:光場分布、焦距、數值孔徑、PSF、MTF、相對聚焦效率、成像分辨率、遠場分布
      系統數值孔徑:0.75 @ 40X
      視野范圍:Φ0.5mm @ 40X,Φ4mm @ 5X
      空間分辨率:0.45μm @ 40X,2.35μm @ 5X
      z軸掃描精度:±1μm(0~1mm 行程),±3μm(1~22mm 行程)
      焦距最大測量范圍:5mm
      標配光源:532nm 光纖連續激光器
      入射平行光發散角:0.2°
      光源拓展接口:1個 FC/APC接口

      項目
      測量模式:透射相位分布檢測,透射光場分布檢測,透射遠場分布檢測
      可測量光學參數:相位分布、波相差、澤尼克像差、光場分布、焦距、數值孔徑、PSF、MTF、相對聚焦效率、成像分辨率、遠場分布
      系統數值孔徑:0.75 @ 40X
      視野范圍:Φ0.5mm @ 40X
      空間分辨率:0.6μm @ 40X
      相位測量分辨率(RMS):50mrad
      相位測量波相差:0.05λ
      z軸掃描精度:±1μm(0~1mm 行程),±3μm(1~22mm 行程)
      焦距最大測量范圍:5mm
      標配光源:457nm、532nm、660nm 空間光連續激光器
      入射平行光發散角:0.1°
      光源拓展接口:1個 FC/APC接口、1個空間光接口

      項目
      偏振擴展:支持實現入射/接收偏振加載,適配 4mm 厚度偏振片
      定制服務:支持其他激光波長擴展定制
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      MetronLens 在超構表面偏振檢測中的應用


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